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半导体易产生前面所说的、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如sih4、ph3、ash3、b2h6等物质，在与空气或氧接触的时候，会引起燃烧甚至；氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时，需要用氮气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。

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人工充水法对于进水管直径小于300mm的小型泵站，博山真空泵生产厂家，在进水管的进口通常设有底阀，一般多采用人工充水法，即从水泵壳上部的---充水排气孔处由充水漏斗（或一个去掉瓶底的倒立的普通瓶子）充水。

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