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山东博山真空泵厂有限公司，本公司是以生产直联式水环真空泵而名扬---的玉环真空泵厂，形成了以研发、营销、管理服务中心。

拧下真空泵泵体的引水螺塞，灌注引水（或引浆）。关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。点动电机，试看电机转向是否正确。开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以---真空泵在点运转，才能获得节能效果。真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35c，温度不得超过80c 。如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。真空泵在工作个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。

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半导体易产生前面所说的、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如sih4、ph3、ash3、b2h6等物质，在与空气或氧接触的时候，会引起燃烧甚至；氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时，需要用氮气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。

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