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半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能---复杂，如sih4与o2在泵口形成sio2，ticl4水解会形成hcl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，一点中提到的危险性也。所以需要及时的清洗，并在---的时候设置过滤设备。

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水环真空泵型号选择：1、尽量选择转速较低的规格；在达到同样抽气量的前提下，应尽量选择转速较低的泵，大泵消耗的比功率较小，博山真空泵，即效率较高。此外，较大规格的水环真空泵由于叶片长（也就是流道长），博山真空泵价格，流体的曲率小，流线近似为直线，流体的流动接近缓变流，流体流动中产生的二次涡流和附面层而导致的能量损失也较小

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